第三代则是NA=0.55的光刻机，ASML也称之为HighNAEUV，主要将NA从0.33升级至0.55，线宽变成8nm。像现在台积电已经不想�买NA=0.55的光刻机了，宁愿采�用多重曝光方式，也�不买，就是因为…�

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