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与此同时，为了解决为了的1nm以下制程的制造问题，ASML正�在积极的�研发具有0.75NA的HyperNAEUV光刻机，这也意味着其将面临更大的�技术挑战，要知道ASML花了约20年的时间才成功推动标准型EUV光…